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    cvd設備

    簡要描述:

    cvd設備由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統,真空及壓力系統等組成。此系統燒結溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現快速的升降溫;配置不同的真空系統來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。

    CVD-1200系統由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統,真空及壓力系統等組成。此系統燒結溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現快速的升降溫;配置不同的真空系統來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。

    技術參數:

    爐體結構

    雙層爐殼間配有風冷系統,有效保證外殼表面溫;

    日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

    爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩

    爐子可以手動從一端滑向另一端,實現快速的加熱和冷卻

    支撐兩端安裝油壓緩沖器

    爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

    電源

    電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

    爐管

    高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小

    尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm

    法蘭及支撐

    SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

    一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

    可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

    包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

    加熱系統

    加熱元件采用優質合金絲0Cr27Al7Mo2,表面負荷高、經久耐用

    加熱區長度:440mm

    恒溫區長度:200mm

    工作溫度:≤1150

    最高溫度:1200

    升溫速率:10/min

    溫控系統

    溫度控制采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能30段升降溫程序

    測溫元件:N型熱電偶

    恒溫精度:±1

    混氣系統

    三路質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制

    內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

    管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

    每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

    通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量

    流量規格:0~1SLM

    流量精度:±1.5%

    真空系統

    采用雙極旋片真空泵,真空度可達5x10-1 Torr

    數顯式真空壓力表

    可選高真空系統及真空計,壓力控制系統等

    可選配件

    混氣系統,中、高真空系統,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀。

     

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